1.什么是臭氧和臭氧的危害。

臭氧是地球大气中一种微量气体，它是由于大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后，氧原子又与周围的氧分子结合而形成的，含有3个氧原子。大气中90%以上的臭氧存在于大气层的上部或平流层，离地面有10～50千米，这才是需要人类保护的大气臭氧层派薯氏。还有少部分的臭氧分子徘徊在近地面，仍能对阻挡紫外线有一定作用。

当臭氧达到一定浓度时，可使人呼吸加速、胸闷，如果浓度进一步提高，可引起脉搏加速、疲倦、头痛尘散，在这样的环境中停留1小时，会发生肺气肿，甚至死亡。长期呆在臭氧污染严重的环境中，对皮肤健康也可能有损伤，还可能增加致癌危险。臭氧污染还会对环境造成损害。比如，会导致植物叶片坏死、脱落，危害生态环境，造成农作物减产等。

2.臭氧在半导体工业中的应用

在过去的几年中，臭氧在半导体工业的应用越来越受到重视，特别是在晶圆清洗过程。

在半导体行业，清洁度是一个绝对的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变。自80年代末以来，在芯片生产中采用臭氧的清洁工艺已经被使用。随着修改和新方法的开发，人们的兴趣继续增长。每个晶圆处理步骤都是潜在的污染源，每个步骤都有其特定类型的污染物。这意味着一个有效的清洗过程包括几个清洗步骤，以去除晶体上的所有污染物。同时“绝对清洁”的行业要求扩展到设备（臭氧发生器，接触到的设备），这意味着不会产生颗粒，没有金属，离子或有机污染物。所以在半导体行业中会或多或少的有臭氧气体的挥发到空气中。

3.  怎么对进行臭氧气体监测

在此，深圳科技有限公司推荐一款臭氧传感器OC-B431，该传感器具有响应速度快、抗干扰、分辨率高、线性度好、灵敏度高等特点。传感器是四电极电化学传感器，不同于常规三电极电化学传感器，OX-B431多了一个辅助极，用于补偿零点电流，使传感器具有更稳定的零点。下面是OX-B431的部分参数：

量程：0-20ppm

分辨率：15ppb

灵敏度：-225~-75nA/ppm

过载：50ppm

尺寸：φ32.3X16.5